鎢燈絲掃描顯微鏡(簡稱鎢燈絲SEM)是材料科學、生物、電子、冶金等領域用于觀察材料微觀形貌的基礎電子顯微鏡，通過鎢燈絲發射電子束，掃描樣品表面并接收二次電子信號，生成高分辨率微觀圖像，廣泛應用于材料表面結構分析、缺陷檢測、納米顆粒觀察等場景，為科研與生產提供微觀層面的數據支撐，相比場發射SEM，具有成本低、維護簡便的優勢。?
其工作原理基于“電子束掃描與信號檢測”：電子槍中的鎢燈絲(加熱至2700K左右)發射電子，經加速電壓(0.5-30kV)加速后，通過聚光鏡聚焦成細電子束(束斑直徑≤10nm)；掃描線圈控制電子束在樣品表面逐點、逐行掃描，電子束與樣品相互作用產生二次電子(反映表面形貌)、背散射電子(反映成分差異)；探測器收集二次電子信號，經放大、處理后轉化為明暗不同的像素點，按掃描順序組成微觀圖像(分辨率可達3.5nm 30kV)。設備配備樣品臺，可實現XYZ三維移動(移動范圍50mm×50mm×20mm)，支持傾斜觀察(0-90°)，適配不同形狀樣品。?
結構設計上，
鎢燈絲掃描顯微鏡注重“實用性+易維護”。鏡筒采用不銹鋼材質，內置真空系統(機械泵+分子泵，真空度可達10??Pa)，防止電子束散射；樣品室為可拆卸設計，便于樣品裝卸，較大樣品尺寸可達Φ50mm×20mm；控制系統采用計算機操作，支持圖像放大(50-30萬倍)、拍照、錄像與測量(可測顆粒尺寸、孔徑、距離)；鎢燈絲更換簡便，無需專業人員，使用壽命約100-200小時，維護成本低。部分型號帶有能譜儀接口，可擴展成分分析功能，滿足多需求檢測。?
應用場景中，其微觀觀察優勢顯著：材料科學領域用于金屬材料表面腐蝕、磨損形貌分析，研究失效機制；電子行業用于芯片、PCB板的微觀缺陷檢測(如劃痕、空洞)，提升產品良率；生物領域用于微生物、生物組織的干燥樣品觀察(需鍍膜處理)，研究微觀結構；納米材料領域用于納米粉體、薄膜的形貌與粒徑分布觀察，指導材料制備；冶金行業用于金屬斷口分析，判斷斷裂類型(如脆性斷裂、韌性斷裂)。操作維護需注意：樣品需干燥、導電(非導電樣品需噴金鍍膜，厚度5-10nm)，防止電荷積累；真空系統需定期檢查密封性，機械泵油每3個月更換一次；鎢燈絲老化后需及時更換，避免影響圖像質量；鏡筒內灰塵需定期清潔(每6個月1次)，確保電子束傳輸穩定。?
